LEVIN PHOTONICS ǀ Продукты ǀ Шкафы, системы ǀ Автоматические шкафы подачи тех. газов GASPOD

Автоматические шкафы подачи тех. газов GASPOD

Автоматизированные газобаллонные шкафы для хранения баллонов и бесперебойной подачи газов.
Описание
Хранят до четырёх 50-литровых баллонов и подают инертные, горючие и токсичные газы в технологическую линию, сохраняя исходную чистоту газа. Замена баллона автоматическая.Где применяется
  • Полупроводниковое производство
  • Научные и исследовательские проекты
  • Линии прекурсоров, травильных, диффузионных и коррозийных газов
Главное
  • до 4 баллонов по 50 л
    Вместимость шкафа
  • до 300 бар
    Рабочее давление
  • 2550 × 610 × 610 мм
    Габариты, IP 54
  • до 250 кг
    Масса без баллонов
  • два ввода 220 В
    Основной и резервный
  • Modbus TCP
    Связь с верхним уровнем
Особенности
  • Автоматическая замена баллона
    С вакуумированием и продувкой газовых линий азотом, без оператора.
  • Автономная безопасность
    Реле безопасности работает отдельно от логического контроллера.
  • Контроль утечек и пламени
    Газоанализаторы IGAS B / IGAS TQ и УФ/ИК-извещатель «Набат».
  • Обогрев баллона и линий
    До 2000 Вт против конденсата при большом постоянном расходе — опция.
Технические характеристики
Документация на изделие
Разрешительные документы