Автоматизированные газобаллонные шкафы для хранения баллонов и бесперебойной подачи газов.
Описание
Хранят до четырёх 50-литровых баллонов и подают инертные, горючие и токсичные газы в технологическую линию, сохраняя исходную чистоту газа. Замена баллона автоматическая.Где применяется
Полупроводниковое производство
Научные и исследовательские проекты
Линии прекурсоров, травильных, диффузионных и коррозийных газов
Главное
до 4 баллонов по 50 л
Вместимость шкафа
до 300 бар
Рабочее давление
2550 × 610 × 610 мм
Габариты, IP 54
до 250 кг
Масса без баллонов
два ввода 220 В
Основной и резервный
Modbus TCP
Связь с верхним уровнем
Особенности
Автоматическая замена баллона
С вакуумированием и продувкой газовых линий азотом, без оператора.
Автономная безопасность
Реле безопасности работает отдельно от логического контроллера.
Контроль утечек и пламени
Газоанализаторы IGAS B / IGAS TQ и УФ/ИК-извещатель «Набат».
Обогрев баллона и линий
До 2000 Вт против конденсата при большом постоянном расходе — опция.
Технические характеристики
Параметр;Значение;Примечание
Назначение;Хранение газовых баллонов и подача газа в линию технологического процесса;инертные, горючие и токсичные газы различной чистоты
Вместимость;До четырёх 50-литровых баллонов;рабочее давление баллонов до 300 бар
Питание (два ввода, основной и резервный);220 В, (50±1) Гц;
Энергопотребление;98 Вт без обогрева, не более 2098 Вт с обогревом;
Баллон процессного газа — максимальное давление;150 бар;
Баллон процессного газа — тип подключения к баллону;DN1;
Баллон процессного газа — чистота газа не хуже;0,6;обозначение приведено как в брошюре изготовителя
Баллон азота (продувочный газ) — максимальное давление;200 бар;
Баллон азота — тип подключения к баллону;DN9;
Баллон азота — чистота газа не хуже;0,6;обозначение приведено как в брошюре изготовителя
Подача рабочего газа с панели в линию процесса — максимальное давление;7 бар;
Подача рабочего газа — подключение;Коаксиальный трубопровод под приварку: внутренняя труба ¼, наружная ½;типоразмер по стандарту АСТМ А269
Подача рабочего газа — максимальный поток;5 ст. л/мин;
Азот для питания эжектора — давление на входе;4,8 бар;
Азот для питания эжектора — расход;Не более 5,1 м³/ч;
Азот для питания эжектора — подключение;¼ VCR (M);
Азот для питания эжектора — чистота азота;Не хуже 99,9 % об.;
Линия сбора эжектора — подключение;½ VCR (M);
Линия сбора продувочного азота — подключение;¼ VCR (M);
Сжатый воздух / азот — подключение;6 мм;
Сжатый воздух / азот — расход;Не более 10 л/мин;зависит от интенсивности работы
Сжатый воздух / азот — класс сжатого воздуха;Не хуже 1,4 ГОСТ Р ИСО 8573-1-2016;
Спринклер пожаротушения — фланец подключения;G ½ наружная;
Спринклер пожаротушения — давление;0,2 МПа (и) — 1,2 МПа (и);расход 120 л/мин при 0,2 МПа (и)
Вытяжная вентиляция — фланец подключения;ДУ 150;
Вытяжная вентиляция — расход;От 425 м³/ч;
Габаритные размеры (В×Ш×Г);2550 × 610 × 610 мм;
Масса шкафа без баллонов;Не более 250 кг;
Материал корпуса;Сталь с порошковой окраской;
Класс защиты;IP 54;
Зона обслуживания;Не менее 1 м спереди, не менее 0,5 м сверху;
Количество опор;8 ножек;
Температура окружающей среды;От 5 до 30 °C;от 5 до 60 °C — хранение
Атмосферное давление;700—1300 мбар;
Влажность;0—80 % относительной влажности;
Панель оператора;Сенсорная Touch-Screen, цветной дисплей диагональю не менее 10 дюймов;язык интерфейса русский, английский по заказу
Передача данных на верхний уровень;Modbus TCP, порт 502;функции 0x01 Read Coil Status и 0x04 Read Input Registers
Регистрация событий;microSD от 2 до 16 ГБ (FAT32);информация на карте защищена от удаления
Контроль утечек газа;Газоанализаторы серии IGAS B или IGAS TQ;
Контроль возгорания;УФ/ИК-извещатель пламени ИП329/330-3-1 «Набат»;
Обогрев — температурный режим газового баллона;26 ± 4 °C;опция
Обогрев — температурный режим газовой панели;35 ± 4 °C;опция
Обогрев — температурный режим трубопровода;44 ± 4 °C;опция
Обогрев — максимальная температура нагрева;60 °C;опция
Обогрев — максимальное энергопотребление;2000 Вт;опция